Description
所以需要检测进气口的输入压力来达到控制排风口的压力，所以就采取了PID调节，本来用变频器本身的PID也是可以的，但是为了将参数可以在触摸屏上设置（这里做的复杂了，但是客户操作起来方便些）模块:CJ1M欧姆龙的PLC模拟量输入模块CJ1W-MAD42(还有别的模块这里用不到，就暂时不写明)。首先要使用这个通道：下面的程序表示的是使用此通道，而且我使用的是第二个模拟量输出通道，这个必须设置为1，才表示使用这个模拟量通道，非常重要。
SEZ Remote Chemical Dispense Cabinet Silicon Back Etch
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NEW Electroglas Hinged Manipulator HLM —NEW IN BOX
TECHNICS MACRO 8800 SERIES REACTIVE ION ETCHER/ASHER
PVD, RF sputtering, deposition ulvac
TEL ACT 12 Wafer Edge Exposure (WEE) Process Station
AMAT LASED, PEDESTAL, 200MM SNNF SML FLT W/WT
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